Технология материалов электронной техники

Учебное пособие. — Томск: ТУСУР — 143 с.Данное учебное пособие предназначено для самостоятельного изучения курса Технология материалов электронной техники студентами специальностей, связанных с технологией и проектированием приборов и устройств твердотельной электроники. Учебное пособие разработано на основе учебника для студентов вузов Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. — М.: Высшая школа, 1983 г. и содержит основные разделы изучаемого курса. Методики расчетов важнейших технологических процессов, использованные в пособии основаны на Расчетах процессов полупроводниковой технологии. Соколов И.А.: Учебное пособие для вузов. –М.: Металлургия, 1994.-176 с. При разработке учебного пособия ставилась задача доступного изложения, предназначенного для самостоятельного изучения курса.